IRIS
(Intra-chanmber Radio-frequency Inspection Sensor)
산업용 장비를 위한 혁신적인 솔루션 창조
4차산업 및 공장 무인화, 실시간 제어 등에 필수적인 제품으로
산업용 챔버 구조의 상태를 측정하는 신개념의 센서를 공급합니다.
산업용 챔버 구조의 상태를 측정하는 신개념의 센서를 공급합니다.
공정챔버 및 장비 모니터링의
새로운 패러다임
새로운 패러다임
기술
(Technology)
RF 및 플라즈마 전문성
산업계에서 증명된 RF/MW 신호 처리 및 전력 제어 기술
반도체 공정을 위한 플라즈마 발생, 제어, 측정 및 분석 기술
기초 원리에 대한 풍부한 이해 및 산업계의 요구에 대한 이해에 기반
솔루션
(Solution)
혁신적인 솔루션
챔버를 실시간으로 측정할 수 있는 최초의 센서
RF 공진 스펙트럼을 이용한 챔버 상태 정량화
챔버 관리 및 운영에 새로운 혁신 방법 제시
가치
(Value)
활용성 및 확장성
FDC, PM, Tool-To-Tool Matching, 진단 등 다양한 활용
원가 절감, 운용 최적화, 공정 개선 등의 기대 효과
디스플레이, 솔라셀, LED 등 다양한 산업에 적용 가능
기술
( TECHNOLOGY )
RF 및 플라즈마 전문성
산업계에서 증명된 RF/MW 신호 처리 및 전력 제어 기술
반도체 공정을 위한 플라즈마 발생, 제어, 측정 및 분석 기술
기초 원리에 대한 풍부한 이해 및 산업계의 요구에 대한 이해에 기반
솔루션
( SOLUTION )
혁신적인 솔루션
챔버를 실시간으로 측정할 수 있는 최초의 센서
RF 공진 스펙트럼을 이용한 챔버 상태 정량화
챔버 관리 및 운영에 새로운 혁신 방법 제시
가치
( VALUE )
활용성 및 확장성
FDC, PM, Tool-To-Tool Matching, 진단 등 다양한 활용
원가 절감, 운용 최적화, 공정 개선 등의 기대 효과
디스플레이, 솔라셀, LED 등 다양한 산업에 적용 가능
산업용 장비의 혁신,
IRIS의 특징
IRIS의 특징
01
통합 하드웨어
제어부, 신호부, 센서부의 일체형 구현
PC에서 동작하는 분석 소프트웨어 및 사용자 인터페이스
02
다양한 활용성
장비 운전 시간 증가
사고 방지를 통한 수율 향상
PM 시기 최적화 및 복구 시간 단축을 통한 원가 절감
데이터 기반의 운영 및 관리
03
쉬운 도입
챔버 외부 뷰포트에 설치
공정 결과에 영향을 주지 않음
설치를 위한 챔버 개조 불필요
양산 설비 및 신규 개발 설비에 모두 적용 가능